晶元級封裝工藝、制作與晶元級封裝清洗
1 晶元級封裝
WLP的最初萌芽是由用于移動電話的低速I/O(low-I/O)、低速晶體管元器件制造帶動起來的,如無源的片上感應(yīng)器和功率傳輸ICs等,目前WLP正處于發(fā)展階段,受到藍(lán)牙、GPS(全球定位系統(tǒng))元器件以及聲卡等應(yīng)用的推動,需求正在逐步增長。
目前,晶元級封裝技術(shù)已廣泛用于閃速存儲器、EEPROM、高速DRAM、SRAM、LCD驅(qū)動器、射頻器件、邏輯器件、電源/電池管理器件和模擬器件(穩(wěn)壓器、溫度傳感器、控制器、運(yùn)算放大器、功率放大器)等領(lǐng)域。晶元級封裝主要采用薄膜再分布技術(shù)、凸點形成兩大基礎(chǔ)技術(shù)。前者用于把沿芯片周邊分布的焊接區(qū)域轉(zhuǎn)換為在芯片表面上按平面陣列形式分布的凸點焊區(qū)。后者則用于在凸點焊區(qū)上制作凸點,形成焊球陣列。
2 薄膜再分布WL-CSP
膜再分布WL-CSP是當(dāng)今使用最普遍的工藝。因為它的成本較低,非常適合大批量、便攜式產(chǎn)品板級應(yīng)用可靠性標(biāo)準(zhǔn)的要求。如同其它的WLP一樣,薄膜再分布WL-CSP的晶元仍采用常規(guī)晶元工藝制作。在晶元送交WLP供貨商之前,要對晶元進(jìn)行測試,以便對電路進(jìn)行分類和繪出合格電路的晶元圖。晶元在再分布之前,先要對器件的布局進(jìn)行評估,以確認(rèn)該晶元是否適合于進(jìn)行焊球再分布。
一種典型的再分布工藝,最終形成的焊料凸點呈面陣列布局,該工藝中,采用BCB作為再分布的介質(zhì)層,Cu作為再分布連線金屬,采用濺射法淀積凸點底部金屬層(UBM),絲網(wǎng)印刷法淀積焊膏并回流,其中底部金屬層工藝對于減少金屬間化合反應(yīng)和提高互連可靠性來說十分關(guān)鍵。
再分布工藝就是在器件表面重新布置I/O焊盤。圖3示出了鍵合閃速存儲器上再分布的情形。從圖中可見,閃速存儲器芯片四邊上的原有焊盤轉(zhuǎn)換成了凸點陣列。在此實例中,器件表面使用了兩層介質(zhì)層,中間夾有的一層再分布金屬化層用于改變I/O的分布。在這工序之后,電鍍上焊球凸點,于是芯片就變成了WLP產(chǎn)品。
將引線鍵合焊盤設(shè)計再分布成焊球陣列焊盤的缺點是:生產(chǎn)的WLP產(chǎn)品在器件設(shè)計、結(jié)構(gòu)或制造成本方面不可能是最佳。但是,一旦證明其技術(shù)上可行,那么就可對這種電路重新設(shè)計,于是就可以消除外加再分布。這種情況已成共識。為此,特別定義了一種雙相判定程序。下一代的變化可能是在芯片最后金屬層內(nèi)集成再分布層,或者是一種用以改進(jìn)性能的最短信號線的新設(shè)計。
重新設(shè)計可能需要補(bǔ)充新的軟件工具。由于重新設(shè)計可消除外加的再分布工序和相關(guān)工藝,因此,重新設(shè)計的信號、電源和接地線的結(jié)構(gòu)非常低廉。聚合物用于硅片平坦化,對芯片提供必要的保護(hù),以及用作標(biāo)準(zhǔn)的表面涂敖。對于薄膜再分布WLP來說,單層聚合物WLP方法不失為一種成本--效益更佳的設(shè)計。
3 晶元級微凸點的制作
WLP以BGA技術(shù)為基礎(chǔ),是一種經(jīng)過改進(jìn)和提高的CSP。有人又將WLP稱為晶元級芯片尺寸封裝(WLP-CSP)它不僅充分體現(xiàn)了BGA、CSP的技術(shù)優(yōu)勢,而且是封裝技術(shù)取得革命性突破的標(biāo)志。晶元級封裝技術(shù)采用批量生產(chǎn)工藝制造技術(shù),可以將封裝尺寸減小至IC芯片的尺寸,生產(chǎn)成本大幅度下降,并且把封裝與芯片的制造融為一體,將徹底改變芯片制造業(yè)與芯片封裝業(yè)分離的局面。正因為晶元級封裝技術(shù)有如此重要的意義,所以,它一出現(xiàn)就受到極大的關(guān)注并迅速獲得巨大的發(fā)展和廣泛的應(yīng)用。
4 晶元級封裝芯片封裝產(chǎn)品清洗劑:
先進(jìn)封裝產(chǎn)品芯片焊后封裝前,基板載板焊盤上的污染物有多種,可歸納為離子型和非離子型兩大類。離子型污染物接觸到環(huán)境中的濕氣,通電后發(fā)生電化學(xué)遷移,形成樹枝狀結(jié)構(gòu)體,造成低電阻通路,破壞了電路板功能。非離子型污染物可穿透PC B 的絕緣層,在PCB板表層下生長枝晶。除了離子型和非離子型污染物,還有粒狀污染物,例如焊料球、焊料槽內(nèi)的浮點、灰塵、塵埃等,這些污染物會導(dǎo)致焊點質(zhì)量降低、焊接時焊點拉尖、產(chǎn)生氣孔、短路等等多種不良現(xiàn)象。
這么多污染物,到底哪些才是最備受關(guān)注的呢?助焊劑或錫膏普遍應(yīng)用于回流焊和波峰焊工藝中,它們主要由溶劑、潤濕劑、樹脂、緩蝕劑和活化劑等多種成分,焊后必然存在熱改性生成物,這些物質(zhì)在所有污染物中的占據(jù)主導(dǎo),從產(chǎn)品失效情況來而言,焊后殘余物是影響產(chǎn)品質(zhì)量最主要的影響因素,離子型殘留物易引起電遷移使絕緣電阻下降,松香樹脂殘留物易吸附灰塵或雜質(zhì)引發(fā)接觸電阻增大,嚴(yán)重者導(dǎo)致開路失效,因此焊后必須進(jìn)行嚴(yán)格的清洗,才能保障電路板的質(zhì)量。
針對先進(jìn)封裝產(chǎn)品芯片焊后封裝前,基板載板焊盤、電子制程精密焊后清洗的不同要求,合明科技在水基清洗方面有比較豐富的經(jīng)驗,對于有著低表面張力、低離子殘留、配合不同清洗工藝使用的情況,自主開發(fā)了較為完整的水基系列產(chǎn)品,精細(xì)化對應(yīng)涵蓋從半導(dǎo)體封裝到PCBA組件終端,包括有水基清洗劑和半水基清洗劑,堿性水基清洗劑和中性水基清洗劑等。具體表現(xiàn)在,在同等的清洗力的情況下,合明科技的兼容性較佳,兼容的材料更為廣泛;在同等的兼容性下,合明科技的清洗劑清洗的錫膏種類更多(測試過的錫膏品種有ALPHA、SMIC、INDIUM、SUPER-FLEX、URA、TONGFANG、JISSYU、HANDA、OFT、WTO等品牌;測試過的焊料合金包括SAC305、SAC307、6337、925等不同成分),清洗速度更快,離子殘留低、干凈度更好。
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