什么是光刻機(jī)?光刻機(jī)有什么作用
光刻技術(shù)與我們的生活息息相關(guān),我們用的手機(jī),電腦等各種各樣的電子產(chǎn)品,里面的芯片制作離不開(kāi)光刻技術(shù)。如今的世界是一個(gè)信息社會(huì),各種各樣的信息流在世界流動(dòng)。而光刻機(jī)是保證制造承載信息的載體。在社會(huì)上擁有不可替代的作用。
光刻機(jī)的作用:
光刻是集成電路最重要的加工工藝。光刻技術(shù)跟照相技術(shù)差不多,照相是將鏡頭里的圖畫“印”到底片上,而光刻是將電路圖和電子元件“刻”到“底片”上。在光刻工藝中,通常以涂滿光敏膠的硅片作為“底片”,電路圖案經(jīng)光刻機(jī),縮微投射到“底片”上。制造芯片,要重復(fù)幾十遍這個(gè)過(guò)程。這就是光刻機(jī)的作用,類似照相機(jī)照相。照相機(jī)拍攝的照片是印在底片上,而光刻刻的不是照片,而是電路圖和其他電子元件。
光刻機(jī)的技術(shù)原理:
光刻機(jī)就是把芯片制作所需要的線路與功能區(qū)做出來(lái)。利用光刻機(jī)發(fā)出的光,通過(guò)具有圖形的光罩,對(duì)涂有光刻膠的薄片曝光,光刻膠見(jiàn)光后會(huì)發(fā)生性質(zhì)變化,從而使光罩上得圖形復(fù)印到薄片上,薄片上電子線路圖隨之顯現(xiàn)。光刻機(jī)技術(shù)是一種精密的微細(xì)加工技術(shù)。常規(guī)光刻技術(shù)是采用波長(zhǎng)為2000~4500埃的紫外光作為圖像信息載體,以光致抗光刻技術(shù)蝕劑為中間(圖像記錄)媒介實(shí)現(xiàn)圖形的變換、轉(zhuǎn)移和處理,然后把圖像信息傳遞到晶片(主要指硅片)或介質(zhì)層上的一種工藝。
在芯片加工過(guò)程中,光刻是其中一個(gè)重要的步驟,甚至被認(rèn)為是集成電路制造中最為關(guān)鍵的步驟,決定著制造工藝的先進(jìn)程度,因此電子行業(yè)生產(chǎn)離不開(kāi)光刻機(jī)。
光刻技術(shù)的精細(xì)度,直接決定了元器件、電路等在芯片上所占的體積。因而,光刻是決定芯片能否按照摩爾定律繼續(xù)發(fā)展的一項(xiàng)重要技術(shù),如果沒(méi)有光刻技術(shù)的進(jìn)步,芯片制造工藝就不可能從微米進(jìn)入深亞微米再進(jìn)入納米時(shí)代。
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