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半導體行業(yè)超純水水質標準
半導體工業(yè)需要大量的超純水，隨著半導體工業(yè)的發(fā)展，對超純水水質的要求日趨嚴格。當前半導體工業(yè)的超純水的水質指標要求，甚至嚴格于我國國標電子水的最高標準要求，如微粒子，TOC，電阻率，溶解氧等。因此，相比于其他行業(yè)的超純水，需要更加嚴格的深度處理技術，如深度處理顆粒物，有機物，深度脫鹽，深度脫氣技術等等。其部分參考標準如下：
ASTM-D5127-2007《美國電子學和半導體工業(yè)用超純水標準》
中國國家電子級超純水規(guī)格GB/T11446-1997
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